真空泵是一種裝置，其從密封體積除去氣體分子，三葉型羅茨真空泵以便留下部分后面真空。泵可以根據(jù)三種技能進(jìn)行大致分類容積式泵使用一種機(jī)制來反復(fù)膨脹空腔，允許氣體從腔室流入，密封空腔，并將其排放到中。動量傳遞泵，也稱為分子泵，使用高速稠密流體或高速旋轉(zhuǎn)葉片將氣體分子撞出腔室。誘捕泵捕獲固體或吸附狀態(tài)的氣體。這包括低溫泵，吸氣劑和離子泵。正排量泵對于低真空是有成效的。動量傳輸泵與一個或兩個正排量泵配合使用是實現(xiàn)高真空的常見配置。在這種配置中，正排量泵有兩個目的。在動量傳遞泵可用于獲得高真空之前，它在被抽空的容器中獲得粗真空，因為動量傳遞泵不能在壓下開始泵送。其次，正排量泵通過將真空泵中的置換分子的積聚抽空到低真空來支撐動量傳遞泵。可以添加誘捕泵以達(dá)到比較高真空，但是它們需要定期捕獲空氣分子或離子的表面。由于這種要求，它們在低真空和高真空中的可用操作時間可能短得令人無法接受，因此限制了它們在比較高高真空中的使用。